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超音波显微镜(SAT)是指Scanning Acoustic Tomography的简称，而Tomography 的意思即是”断层扫描攝影”。又称为SAM (Scanning Acoustic Microscope)，应用于电子产品之超音波頻率是指高于20KHz者，可以穿透一定厚度的固态与液态物质，以检测结构組成之变异。目前使用之介质，通常为纯水，为最便宜与安全之物质。

超音波检测之基本原理是利用超音波讯号发射源(Transducer，俗称探头)并以纯水为介质而传导到待测物体上，经由超音波的回声反射或穿透等的动，让此讯号在机台经过特定软件处理呈現影像。Transducer的选择會因為待測物之厚度与材质而有不同选择。

電子產品主要使用SAT來進行結構脫層(Delamination)或裂縫(Crack)等的檢測之用，SAT掃瞄常用的模式包括A-scan、B-scan、C-scan、T-scan與TAMI等多項，應用領域如下說明：

1.IC package level structure analysis

2.IC package quality on PCBA level

3.PCB/IC substrate structure analysis

4.Wafer level structure analysis

5.WLCSP structure analysis